感光性干膜Photec PKG基板线路形成用RY系列

RY系列是一款开发应用于BGA及CSP等高密度封装基板的线路形成，兼备高附着力、高解析度及显影后干膜脚部小等特点的感光性干膜。

特点：

RY5100系列

代表性干膜型号：PKG工艺用干膜RY-5125
卓越的附着力、解析度、线宽稳定性、良好的去膜性，支持半加成工艺。
显影后干膜脚部小，显影后干膜侧壁形状优异，最适合高精细的线路成形。

RY-5125显影后的干膜侧壁（L/S=10/10um ST=11/41）

RY-5125基本特性一例（测试数据的一例）

RY-5125
感光能量（mj/cm2）	ST=8	8
	ST=11	130
	ST=14	180
最短显影时间（sec）	20
解析度	ST=8	6
	ST=11	7
	ST=14	10
密着性(um)	ST=8	10
	ST=11	7
	ST=14

RY5300系列

代表性干膜型号：RY-5310/5315/5325；RY-9000系列。
卓越的附着力、解析度、线宽稳定性、良好的去膜性，支持半加成工艺。
显影后干膜脚部小，显影后干膜侧壁形状优异，最适合高精细的线路成形。

RY-5310显影后的干膜侧壁（L/S=7/7um ST=11/41）

RY-5310的基本特性一例（测试数据的一例）

RY-5310
光量计		SN型		SD型
感光能量（mj/cm2）	ST=8	40		30
	ST=11	60		40
	ST=14	80		60
	ST=17	120		80
最短显影时间（sec）		12
解析度	ST=8	6
	ST=11	5
	ST=14	6
	ST=17	8
密着性	ST=8	5
	ST=11	4
	ST=14	3
	ST=17	3

RY-5319/5325的特性介绍（测试数据的一例）

		RY-5319		RY-5325
用途		蚀刻/电镀		蚀刻/电镀
推荐ST段数		11-14		11-14
光量计		SN型	SD型	SN型	SD型
感光能量（mj/cm2）	ST=8	40	29	40	29
	ST=11	57	41	57	41
	ST=14	80	58	80	58
	ST=17	114	82	114	82
最短显影时间（sec）	16			20
解析度（um）	ST=8	7		7
	ST=11	6		6
	ST=14	7		8
	ST=17	9		10
密着性（um）	ST=8	8		8
	ST=11	6		6
	ST=14	4		5
	ST=17	3		4

RY9000系列

代表性干膜型号：RY-9015。
优良的密着性、解析度、线宽稳定性、去膜片细小，具有良好的去膜性。
显影后显影后干膜脚部小，侧壁形状良好，最适合高精细的线路成形。

RY-9015的特性介绍（测试数据的一例）

RY-9015
感光能量（mj/cm2）	ST=14/41	38
	ST=17/41	60
	ST=20/41	95
密着性	ST=14/41	6
	ST=17/41	5
	ST=20/41	5
解析度	ST=14/41	12
	ST=17/41	15
	ST=20/41	20
最短显影时间（sec）		7