感光性干膜Photec 激光直描成像用DL系列
时间: 2018-04-26 预览次数：1179次
DL系列干膜适用于激光直描成像方式，感光主波长405nm。具有高感光度・高解析度的特性，且具有高图像对比性，可有效提升曝光生产效率。
特点：
DL9500系列
代表性干膜型号：DL-9530。
适用于直接成像405nm波长的光源系统。
高感光特性，可以有效提升生产效率。
优良的解析度和密着特性，对精细线路的形成有很大的贡献。
优良的盖孔特性。
DL-9530主要性能介绍（测试数据的一例）
| 特性 | DL-9530 | |
|---|---|---|
| 适用工艺 | 盖孔/蚀刻 | |
| 感光ST（ST=X/41） | 14±3 | |
| 曝光能量（mj/cm2） | ST=11/41 | 12 |
| ST=14/41 | 17 | |
| ST=17/41 | 24 | |
| 最短显影时间（sec） | 18 | |
| 解析度 | ST=11/41 | 35 |
| ST=14/41 | 25 | |
| ST=17/41 | 20 | |
| 密着性 | ST=11/41 | 37 |
| ST=14/41 | 27 | |
| ST=17/41 | 22 | |
| 圆孔破孔率（MDX4：%） | Ф6mm | 2 |
| Ф5mm | 0 | |
| Ф4mm | 0 | |
DL-9530的干膜侧壁（L/S=30/30um）
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